上海謹(jǐn)通儀器儀表有限公司
標(biāo)準(zhǔn)會(huì)員·1年
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標(biāo)準(zhǔn)會(huì)員·1年
半導(dǎo)體微量光子檢測(cè)顯微鏡微光顯微鏡是捕獲半導(dǎo)體器件缺陷或失效點(diǎn)發(fā)射微量光子的一種無(wú)損檢測(cè)設(shè)備。在電激勵(lì)作用下，電子-空穴對(duì)或高能熱載子以光子的形式釋放出多余動(dòng)能。根據(jù)此原理，利用高增益低噪聲的相機(jī)就能精確定位到缺陷位置。EMMI系統(tǒng)C主要適用于PN結(jié)漏電、氧化層崩潰、靜電放電破壞、閂鎖效應(yīng)、碰撞電離和雪崩擊穿等多種物理場(chǎng)景。
半導(dǎo)體微量光子檢測(cè)顯微鏡
半導(dǎo)體微量光子檢測(cè)顯微鏡
產(chǎn)品特征參數(shù)
軟件圖像處理功能
8寸高壓手動(dòng)氣浮探針臺(tái)
紫外、可見光、紅外顯微光學(xué)系統(tǒng)
2倍、5倍、10倍、20倍與50倍紅外物鏡
400 -1000 nm 或900-1700 nm響應(yīng)波長(zhǎng)
支持3000 V高壓偏置
相機(jī)與源表的一體化控制程序
應(yīng)用方向
GaN與SiC 基功率器件
的漏電“熱點(diǎn)"定位
GaN基LEDs與結(jié)型探測(cè)
器的漏電“熱點(diǎn)"定位
Si基MOSFET與IGBT等功
率器件的漏電失效“熱
點(diǎn)"定位
GaAs基激光器光分布與
漏電“熱點(diǎn)"定位
常規(guī)的器件的靜態(tài)電學(xué)
參數(shù)測(cè)試。
相關(guān)系列有關(guān)于芯片失效與缺陷檢測(cè)都可以聯(lián)系我司，可看樣機(jī)測(cè)試
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