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Apollo300特點(diǎn)：

熱場(chǎng)發(fā)射肖特基電子光源

Through-Lens上位

二次電子/背散射電子探測(cè)器

可變能量技術(shù) 樣品室內(nèi)無場(chǎng)工作

超長(zhǎng)的燈絲壽命 (一般 15,000hrs，>25,000hrs可達(dá))

超大樣品室，承載10Kg重的樣品

主要技術(shù)參數(shù)

電子光源	高亮度肖特基源的熱場(chǎng)發(fā)射電子槍
分辨率	1.0nm@25kV,<2.0nm@1kV,WD2mm(Through-lens detector)
加速電壓	0.1kV – 30kV連續(xù)調(diào)節(jié),步長(zhǎng)100V
放大倍數(shù)	<10倍至 >900,000倍，工作距離和高壓變化時(shí)進(jìn)行地補(bǔ)償
電子束流	可達(dá)100nA
光欄選擇	6孔光欄，高精度點(diǎn)擊選擇
探測(cè)器樣品室內(nèi)二次電子探頭 Through -Lens探頭樣品室內(nèi)BSE探頭	E-T探頭僅用于樣品室高真空操作,幾何位置可調(diào)整 DELPHI Through –Lens上位SE/BSE探頭羅賓遜/4分割固體背散射電子探頭
真空系統(tǒng)	TMP(渦輪分子泵)+2個(gè)離子泵，高壓和所有電子槍供給全部與真空互鎖
樣品室尺寸	413mm寬x313mm深x313mm高.
樣品臺(tái)移動(dòng)	優(yōu)中心6軸樣品臺(tái). X=100mm，Y=100mm，(Y=150mm，選配)，Z=50mm， Z’=10mm Tilt=-5～+90°， Rot=360°
樣品臺(tái)載重	承載樣品的重量超過5公斤
樣品室接口	14個(gè)
防震系統(tǒng)	自動(dòng)水平傳感器的氣墊裝置
自動(dòng)特性	自動(dòng)聚焦,消像散,亮度和對(duì)比度調(diào)整. 自動(dòng)電子束對(duì)中.自動(dòng) 電子束流檢測(cè).真空檢測(cè)與調(diào)整
顯示器	雙顯示器，能形成雙幅橫向工作區(qū)
視頻獲取圖像處理	6路優(yōu)化像素噪音功能實(shí)現(xiàn)雙路獲取樣品檢查模式帶有轉(zhuǎn)換/掃描圖像定位中心特性全屏注釋和圖像測(cè)量功能
觸停報(bào)警裝置	標(biāo)配

可配附件
EDS, WDS, EBSD, CL， STEM，電子束消隱裝置，激光定位儀，電子槍隔離閥， Fastrac，光學(xué)顯微鏡，冷臺(tái)，熱臺(tái)，拉伸臺(tái)