螺桿真空泵是一種干式運(yùn)行，無接觸，等螺距的螺桿型真空泵。它的工作原理，是利用兩個(gè)相平行的等螺
距螺桿，在泵腔中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用。兩螺桿經(jīng)過精細(xì)動(dòng)平衡處理，由軸承支撐，安裝在泵殼
中，螺桿與螺桿之間有一定間隙，因此泵工作時(shí)運(yùn)行平穩(wěn)，相互之間無摩檫，工作腔無需工作介質(zhì)。因此，螺桿真空泵
能抽除含有大量可凝性氣體及粉塵的氣體，是環(huán)境友好型、節(jié)能型真空泵。它是油封式機(jī)械真空泵、液環(huán)式真空泵、往
復(fù)式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
1.2 特點(diǎn)
(1) 工作腔內(nèi)無任何介質(zhì)，可獲得清潔真空。
(2) 工作腔及螺桿表面有防腐蝕鍍層，可適應(yīng)惡劣工況。
(3) 工作腔干式運(yùn)行，適合抽除含有粉塵的氣體和可凝性的氣體。
(4) 單臺(tái)泵可連續(xù)直排大氣，從大氣抽至 5Pa 以下，真空系統(tǒng)可大大簡(jiǎn)化。
(5) 旋轉(zhuǎn)部件之間無摩擦，因而壽命長(zhǎng)；
(6) 經(jīng)過高精度動(dòng)平衡，可高速運(yùn)轉(zhuǎn)，工作平穩(wěn)，整機(jī)體積小。
(7) 與多級(jí)爪泵相比，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，零部件少，操作簡(jiǎn)便，維護(hù)方便。
(8) 與油封式機(jī)械真空泵相比，可凝性物質(zhì)不會(huì)在泵內(nèi)滯留，無油汽和油霧排放，環(huán)保。
(9) 與水環(huán)泵相比，僅需要可循環(huán)應(yīng)用的冷卻水，被抽氣體不與水接觸，物料容易回收，而且省掉污水處理環(huán)節(jié)，更加環(huán)保，而且避免了水溫對(duì)真空的影響。
(10) 與液環(huán)泵相比，極限壓力更低，因而可節(jié)約能耗。
(11) 可與羅茨泵、分子泵組成無油機(jī)組。
1.3 典型應(yīng)用
（1 ）工業(yè)爐 / 熱處理（表面硬化，淬火，燒結(jié)，滲碳，熔煉等）
（2 ）化工制藥 （7）包裝技術(shù)
距螺桿，在泵腔中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生吸氣和排氣作用。兩螺桿經(jīng)過精細(xì)動(dòng)平衡處理，由軸承支撐，安裝在泵殼
中，螺桿與螺桿之間有一定間隙，因此泵工作時(shí)運(yùn)行平穩(wěn)，相互之間無摩檫，工作腔無需工作介質(zhì)。因此，螺桿真空泵
能抽除含有大量可凝性氣體及粉塵的氣體，是環(huán)境友好型、節(jié)能型真空泵。它是油封式機(jī)械真空泵、液環(huán)式真空泵、往
復(fù)式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
1.2 特點(diǎn)
(1) 工作腔內(nèi)無任何介質(zhì)，可獲得清潔真空。
(2) 工作腔及螺桿表面有防腐蝕鍍層，可適應(yīng)惡劣工況。
(3) 工作腔干式運(yùn)行，適合抽除含有粉塵的氣體和可凝性的氣體。
(4) 單臺(tái)泵可連續(xù)直排大氣，從大氣抽至 5Pa 以下，真空系統(tǒng)可大大簡(jiǎn)化。
(5) 旋轉(zhuǎn)部件之間無摩擦，因而壽命長(zhǎng)；
(6) 經(jīng)過高精度動(dòng)平衡，可高速運(yùn)轉(zhuǎn)，工作平穩(wěn)，整機(jī)體積小。
(7) 與多級(jí)爪泵相比，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，零部件少，操作簡(jiǎn)便，維護(hù)方便。
(8) 與油封式機(jī)械真空泵相比，可凝性物質(zhì)不會(huì)在泵內(nèi)滯留，無油汽和油霧排放，環(huán)保。
(9) 與水環(huán)泵相比，僅需要可循環(huán)應(yīng)用的冷卻水，被抽氣體不與水接觸，物料容易回收，而且省掉污水處理環(huán)節(jié)，更加環(huán)保，而且避免了水溫對(duì)真空的影響。
(10) 與液環(huán)泵相比，極限壓力更低，因而可節(jié)約能耗。
(11) 可與羅茨泵、分子泵組成無油機(jī)組。
1.3 典型應(yīng)用
（1 ）工業(yè)爐 / 熱處理（表面硬化，淬火，燒結(jié)，滲碳，熔煉等）
（2 ）化工制藥 （7）包裝技術(shù)
（3 ）鍍膜 （8）干燥工藝
| （4 | ）研究與開發(fā) | （9）太陽能 | |
| （5 | ）冶金 | （10 | ）電機(jī)工程 |
| （6 | ）檢漏 | （11 | ）半導(dǎo)體行業(yè) |
1.4 型號(hào)及意義
LG100
LG^ 螺桿真空泵（為漢語拼音螺“ Luo ”和桿“ Gan ”的個(gè)大寫字母）
100 ——抽氣速率 100L/S
2 工作原理
2.1 抽氣原理
螺桿真空泵里的泵腔由兩個(gè)同步反向旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和泵體、側(cè)蓋等組成。使用了一對(duì)緊密嚙合的左旋和 右旋螺桿，通過非常少的零部件，實(shí)現(xiàn)很多的級(jí)數(shù)，并且獲得很低的極限壓力。圖 1 和圖 2 顯示了兩個(gè)轉(zhuǎn)子和泵體以及側(cè)蓋如何構(gòu)成了若干個(gè)室并實(shí)現(xiàn)氣體壓縮。兩個(gè)轉(zhuǎn)子同步反向高速旋轉(zhuǎn)，這些氣室有規(guī)律地 從泵的進(jìn)氣口側(cè)往排氣口側(cè)“移動(dòng)”（圖
2) ，這樣氣體就以低速旋流的方式運(yùn)送出去。 泵的持續(xù)運(yùn)動(dòng)不改變氣體流動(dòng)方向， 這樣就可以在一定范圍內(nèi)將氣體夾帶的
微粒以及蒸汽抽送出去。
與其它干式運(yùn)行的壓縮 （縫隙密封式） 真空泵一樣， 螺桿泵的兩螺桿之間， 螺桿與泵體之間要保持極 為緊密的間隙。否則壓力降造成的泄漏對(duì)抽速和可達(dá)到的極限壓力都有負(fù)面影響。在工作中， LG 螺桿真空泵的設(shè)計(jì)使得間隙保持在泵的
運(yùn)動(dòng)范圍以內(nèi)。為了限制零部件達(dá)到的溫度，泵殼體采用水隔套冷卻，螺桿內(nèi)部采用水冷卻，即將外部水隔套流出的冷卻
水引入螺桿內(nèi)部。因此泵內(nèi)實(shí)現(xiàn)了溫度的均衡。
本型泵采用了等螺距的螺桿型線，在螺桿的末端有內(nèi)部壓縮設(shè)計(jì)，即絕大部分的壓縮工作是在氣體與排氣口相通的
時(shí)候完成的，也就是泵排出的最后階段。圖 3 顯示的是螺桿泵的 P-V 圖表：（ a) 無內(nèi)壓縮； (b) 最后階段有壓縮。 PV 圖
表中顯示的幾個(gè)面積與泵吸取的能量成正比的。很明顯地，采取適當(dāng)?shù)膬?nèi)壓縮，有利于降低功率的消耗，同時(shí)也減少了發(fā)
熱量。
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