影像測(cè)量?jī)x一般具有較大的測(cè)量范圍，通常配備有(0.7╳ ～ 4.5╳)的變焦物鏡，照明光源除了常的底光和頂光外，還有環(huán)形照明光，適合于底光和頂光都不能有效照明時(shí)應(yīng)用。

其次影像測(cè)量?jī)x的誤差來(lái)源

在影像測(cè)量?jī)x上的測(cè)量均是單軸或二維平面坐標(biāo)的測(cè)量，測(cè)量時(shí)先對(duì)焦，后對(duì)準(zhǔn)，再讀數(shù)后計(jì)算處理。讀數(shù)來(lái)自于標(biāo)尺即光柵系統(tǒng)，對(duì)焦對(duì)準(zhǔn)依靠顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)，還有一個(gè)直接影響測(cè)量效果和精度的照明光源，因?yàn)椋谟跋穹椒y(cè)量的儀器，如果被測(cè)件不能被有效正確的照明，則測(cè)量的結(jié)果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外，環(huán)境條件也是制約測(cè)量精度不可忽視的因素?；谏鲜龇治觯梢詺w納出以下幾個(gè)方面的誤差來(lái)源:

    1)光柵計(jì)數(shù)尺的誤差;

    2)工作臺(tái)移動(dòng)時(shí)存在的直線度、角擺帶來(lái)的誤差;

    3)工作臺(tái)兩測(cè)量軸垂直度帶了的誤差;

    4)微鏡光軸與工作臺(tái)面不垂直帶了的誤差;

    5)測(cè)量室溫度偏離20℃參考溫度帶來(lái)的誤差;

    6)光源照明條件的變化帶來(lái)的對(duì)焦和對(duì)準(zhǔn)誤差。

在這幾種因素中，前四項(xiàng)誤差，是硬件誤差，在儀器制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定下來(lái)，一般無(wú)法改變;溫度影響帶來(lái)的誤差，通過(guò)控制測(cè)量室的溫度和等溫過(guò)程來(lái)減小其影響。

后一項(xiàng)則常被忽視，而在實(shí)際測(cè)量中，當(dāng)光源照明條件改變時(shí)，直接影響被測(cè)工件的照明效果和影像質(zhì)量，主要是因?yàn)橛跋駵y(cè)量?jī)x的圖像是通過(guò)CCD接收，盡管CCD具有自動(dòng)調(diào)節(jié)增益的功能，但當(dāng)亮度過(guò)大時(shí)即失去調(diào)節(jié)功能，導(dǎo)致被測(cè)工件影像在縮小，當(dāng)亮度過(guò)低時(shí)，工件影像反而變大。這種影響，對(duì)于測(cè)量具有重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)之間的間距時(shí)，只要整個(gè)測(cè)量過(guò)程中照明條件保持不變，其影響可以忽略，因?yàn)槊總€(gè)重復(fù)圖形結(jié)構(gòu)都同時(shí)在變大或變小，間距的測(cè)量計(jì)算直接消除了影像變形的影響，如測(cè)量玻璃尺、網(wǎng)格板刻線間距;除了這種特殊情形外，如測(cè)量圓的直徑、工件的長(zhǎng)度和寬度，都將帶來(lái)明顯的誤差。

為了滿足廣大高精度客戶的測(cè)量需求，?？扑纪瞥隽?font face="Times New Roman">GM-7060系列超高精度影像測(cè)量?jī)x，此款設(shè)備采用晶元光罩技術(shù)，無(wú)需光柵尺和編碼器，軟件工作平臺(tái)，全部通過(guò)軟件補(bǔ)償精度，幾乎不受機(jī)械誤差及阿貝誤差的影響。這項(xiàng)發(fā)明已經(jīng)獲得世界多國(guó)，廣泛應(yīng)用于PCB板、線路板、沖壓件精密計(jì)量；量值傳遞等高精度測(cè)量領(lǐng)域。