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等離子刻蝕

2025年01月08日 09:06:35      來(lái)源:沈陽(yáng)麥科諾科技有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺(tái)      閱讀量:13

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等離子蝕刻是指通過(guò)將加速粒子轟擊到襯底表面來(lái)從襯底去除材料。

蝕刻于半導(dǎo)體、顯示器和 MEMS 制造中的集成電路制造。

蝕刻分為兩種類(lèi)型——各向同性和各向異性刻蝕。

然而,隨著電路每年變得越來(lái)越小,在大多數(shù)情況下各向異性蝕刻是。

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