面形偏差 surface form deviation

被測(cè)光學(xué)表面相對(duì)于參考光學(xué)表面的偏差。注:在用樣板檢測(cè)的圓形檢驗(yàn)范圍內(nèi),面形偏差是通過(guò)垂直位置所觀察到的干涉條紋(通稱(chēng)光圈)的數(shù)目、形狀、變化和顏色來(lái)確定

峰谷值 peak-to-valley (PV) value

兩面之間的距離減去最小距離，簡(jiǎn)稱(chēng) PV 值

條紋間隔單位 unit of fringe spacing

一個(gè)條紋間隔的面形偏差等于 1/2 波長(zhǎng)

總表面偏差狀態(tài) total surface deviation function

實(shí)際表面和所期望的理論表面之差所規(guī)定的理論表面

近似球面 approximating spherical surface

總面形偏差均方差為最小值的球面

弧矢偏差 sagittal error

近似球面和平面之間的 PV 值

不規(guī)則性狀態(tài) irregularity function

總面形偏差狀態(tài)和近似球面之差所規(guī)定的理論表面

不規(guī)則性 irregularity

不規(guī)則性狀態(tài)與它的平面之間的 PV 值

注:對(duì)于個(gè)名義上的球面,不規(guī)則性表示偏離于這個(gè)球面的度;對(duì)于一個(gè)非球面,不規(guī)則性表示總面形偏差態(tài)偏離于這個(gè)非球面度的部分

RMSt

均方根總偏差，它是被測(cè)光學(xué)表面與標(biāo)稱(chēng)理論球面之間的均方根偏差。

RMSi

均方根不規(guī)則度，它是被測(cè)光學(xué)表面與擬合球面之間的均方根偏差

RMSa

均方根不對(duì)稱(chēng)性，它是被測(cè)光學(xué)表面與擬合非球面之間的均方根偏差

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