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客戶要求:1,該方案采用高速、高精度、高動態(tài)特性的笛卡爾龍門坐標(biāo)軸設(shè)計(jì);
2,分辨率:1Vpp Sin/Cos (典型推薦分辨率5nm);
3,雙向重復(fù)定位精度:±0.75μm(Base)±0.4μm(Plus);
4,定位精度(線性誤差修正):±3μm(Base)±1μm(Plus);
5,正交誤差:10arc sec;
6,工作速度:2000mm/s;
典型的應(yīng)用領(lǐng)域
1,OLED面板切割;
2,IC芯片貼片;
3,高速高精度自動點(diǎn)膠;
4,新能源_鋰電池焊接;