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主動(dòng)減振采用多個(gè)速度傳感器、控制器以及多個(gè)音圈電機(jī)的組合,通過(guò)合理布置傳感器和作動(dòng)器的位置與方向,能實(shí)現(xiàn)六自由度控制的全解耦,應(yīng)用靈活。同時(shí)被動(dòng)隔振采用金屬?gòu)椈膳c隔振橡膠串聯(lián),采用調(diào)整機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)被減振平臺(tái)的高度調(diào)整和水平調(diào)節(jié),使用中無(wú)須進(jìn)行位置控制,亦可有效解決載荷偏心問(wèn)題,隔振頻率低至0.7Hz,隔振性,精密音圈電機(jī)驅(qū)動(dòng)力大,靈敏、精度高, 控制模塊配備前饋系統(tǒng),六自由度控制,機(jī)械式組件,無(wú)需其他約束。