真空度降低的原因

滅弧室內(nèi)部材料含氣釋放

滅弧室漏氣：滅弧室密封質(zhì)量、機(jī)械沖擊

真空度檢測(cè)方法：

真空度測(cè)試儀法

真空度在線監(jiān)測(cè)：電光變換法、耦合電容法、壓力傳感法。

真空度測(cè)試儀基本原理

磁控放電法-高壓脈沖和磁場(chǎng)脈沖同時(shí)作用于真空滅弧室，使之內(nèi)部產(chǎn)生脈沖磁控放電現(xiàn)象，產(chǎn)生離子電流，測(cè)量離子電流并與己知的電流-真空度曲線比較，得出真空度。

各廠產(chǎn)品差別

離子電流取值方法-峰值方法、積分方法

磁場(chǎng)線圈形式一固定式、纏繞式、對(duì)折式。

內(nèi)存曲線數(shù)量一粗分、細(xì)分

測(cè)試精度問(wèn)題

前測(cè)量范圍0-10-4Pa，可達(dá)到10級(jí)。

現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試注意事項(xiàng)

滅弧室表面應(yīng)擦拭干凈

磁場(chǎng)線圈盡量貼近滅弧室

連續(xù)重復(fù)測(cè)試同一滅弧室，數(shù)據(jù)可能不準(zhǔn)

測(cè)試完成后，真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試儀應(yīng)放電。

測(cè)試結(jié)果處理建議

不能排除交流耐壓試驗(yàn)，應(yīng)結(jié)合使用

測(cè)試結(jié)果10-4Pa數(shù)量級(jí)及以下，合格

測(cè)試結(jié)果在10-3Pa數(shù)量級(jí)，加強(qiáng)監(jiān)測(cè)

測(cè)試結(jié)果10-2Pa數(shù)量級(jí)及以上，建議更換。