由于SF₆氣體是由易于生成有毒有害物質(zhì)的硫和氮這兩個(gè)元素姆成的，而且在SF₆分子中氟 原子多達(dá)六個(gè)。再加上曾發(fā)生過與SF₆使用有關(guān)的中毒事故，因此在不熟悉者當(dāng)中存在一種 當(dāng)然的疑問，擔(dān)心甚至誤認(rèn)為SF₆本身就是個(gè)有毒有害物質(zhì)。為此國內(nèi)外均做過大量的生物 染毒試驗(yàn)，井采用了十分苛刻的條件，即把SF₆取代空氣中的氮?dú)猓?9%的SF₆和21%的氧氣混合后，通入動物染毒缸。用五只白鼠在其中暴露24小時(shí)，然后再在新鮮空氣中放置觀 察72小時(shí)，結(jié)果動物均末出現(xiàn)中毒癥狀。能通過上述實(shí)驗(yàn)的物質(zhì)，衛(wèi)生學(xué)上稱無毒物質(zhì)，藥 理學(xué)上稱非活性氣體。

此外SF₆可在醫(yī)學(xué)上作人工氣胸時(shí)使用，這也可作為它無毒無害的一個(gè)佐證。 國際上將有毒物質(zhì)分劇毒、高毒、中等毒性，低毒、基本無毒、實(shí)際無毒六級，并規(guī)定有相應(yīng)確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)。

HDWG-II 高精度便攜式SF₆定量檢漏儀

如上所述，目前SF₆氣體無毒無害，可安全使用。僅僅提出，由于SF₆氣體比空氣重五倍而且容易液化，因此有可能造成SF₆在低凹處滯留而引起局部缺氧或在密閉容器中充代過量的問題，需對SF₆氣體進(jìn)行效驗(yàn)檢漏，對此應(yīng)予以注意。

美國1977年規(guī)定工作現(xiàn)場空氣中SF₆允許濃度為1000ppm。