熱式氣體質(zhì)量流量計起源與發(fā)展，熱式氣體質(zhì)量流量計起源于美國，恒功率式與恒溫差式分別自上世紀60年代、70年****始出現(xiàn)。

一個發(fā)展路線起源于熱式流量開關(guān)（Thermal flow switches），熱式流量開關(guān)用于檢測油田上油水混合的輸油管線中是否有混合物的流動。FCI公司（Fluid Components International）的創(chuàng)始人麥克-馬克奎恩（Mac McQueen）和鮑博-迪恩（Bob Deane），在1964年，美國一家石油公司的現(xiàn)場需要判斷冬季的輸油管線??的油水混合物是流動還是凍結(jié)著，麥克-馬克奎恩（Mac McQueen）和鮑博-迪恩（BobDeane）開發(fā)了熱式流量開關(guān)以解決上述問題，同時他們的熱式流量開關(guān)根據(jù)用戶的需要可以提供一個精度不高的百分比的流量指示輸出，到了1981年FCI公司正式推出基于恒功率原理的熱式流量開關(guān)技術(shù)，與現(xiàn)代成熟的電子技術(shù)結(jié)合的熱式流量計。

                     渦輪流量計,氣體渦輪流量計,羅茨流量計

另一個發(fā)展路線是將熱線式風速計技術(shù)應(yīng)用于工業(yè)環(huán)境下（在此之前熱線式風速計于實驗室環(huán)境使用），約翰-歐林博士以及杰瑞- Kurz博士（Dr. John Olin and Dr. Jerry Kurz）, Sierra Instruments的創(chuàng)始人.在麥克-馬克奎恩（Mac McQueen）和鮑博-迪恩（Bob Deane）開發(fā)了熱式流量開關(guān)的同一時期，John Olin and Jerry Kurz在斯坦福大學(xué)的一個研究項目的同事，在實驗室中采用Thermo-Systems Inc. (TSI)的熱線式風速計（hot-wire anemometers）用于實驗項目中。那時，TSI是世界上為數(shù)不多的為實驗研究領(lǐng)域生產(chǎn)熱線式風速計（hot-wire anemometers）的公司之一。熱線式風速計作為熱式流量計的一種，起源于1900s，用于測量流體剖面的流速，有響應(yīng)速度快的優(yōu)點，傳感器小、易碎，不適合在工業(yè)場合應(yīng)用。幾年后，約翰-歐林博士以及杰瑞- Kurz博士（Dr. John Olin and Dr. Jerry Kurz）從斯坦福大學(xué)畢業(yè)，加入在明尼蘇達州的TSI公司工作，從1968年到70年代早期，兩人一直在TSI開發(fā)部門工作，主要研究HAVC領(lǐng)域的風速儀。后來，他們離開了TSI公司，開始在一起研究自己的熱式氣體質(zhì)量流量計，他們清楚熱線式風速計不適合在工業(yè)場合應(yīng)用。早期的產(chǎn)品是空氣風速儀和風速傳感器，以及空氣取樣產(chǎn)品，這就是Sierra Instruments的初期產(chǎn)品基礎(chǔ)。Sierra Instruments在1973年成立于明尼蘇達州。1975年Sierra Instruments自明尼蘇達州搬到加利福尼亞州，合作了幾年后，1977年兩人分家，約翰-歐林博士保留Sierra Instruments以及空氣取樣產(chǎn)品，杰瑞- Kurz博士成立了Kurz Instrument，并得到了原公司的空氣風速儀和風速傳感器產(chǎn)品。

到了上世紀90年代的早期，美國國家采用CEMS測量污染物的大氣排放量（SOX、NOX等），傳統(tǒng)的單點流量測量不能滿足要求，熱式有不易堵塞的特點，出現(xiàn)了多點熱式流量測量系統(tǒng)（Multipoint thermal flowmeters），有些系統(tǒng)達到了16個測量點。