原子蒸氣吸收特定波長的光輻射的能量而被激發(fā)，受激原子在去激發(fā)過程中發(fā)射出一定波長的光輻射稱為原子熒光，檢測(cè)原子熒光得出分析數(shù)據(jù)的分析方法成為原子熒光光譜法。
原子熒光光譜儀器主要由激發(fā)光源、原子化器、蒸氣發(fā)生系統(tǒng)（進(jìn)樣系統(tǒng)和氣液分離器）、光學(xué)系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)構(gòu)成。
1.激發(fā)光源
可用連續(xù)光源或銳線光源。常用的連續(xù)光源是氙弧燈，常用的銳線光源是高強(qiáng)度空心陰極燈、無極放電燈、激光等。連續(xù)光源穩(wěn)定，操作簡便，壽命長，能用于多元素同時(shí)分析，但檢出限較差。銳線光源輻射強(qiáng)度高，穩(wěn)定，可得到更好的檢出限。
2.原子化器
原子熒光分析儀對(duì)原子化器的要求與原子吸收光譜儀基本相同。
3.它的基本原理是運(yùn)用蒸氣發(fā)生技術(shù)使還原劑（NaB H4或 KBH4）與酸性介質(zhì)下的樣品的溶液發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，使之生成的共價(jià)氫化物元素 As、Bi、Ge、Pb、Sb、Se、Sn、Te 等、揮發(fā)性化合物元素 Cd 和 Zn、蒸氣態(tài) Hg 原子，和在這個(gè)過程中產(chǎn)生的氫氣都經(jīng)載氣（Ar）通入到原子熒光光譜儀的原子化器中形成的氬氫火焰中進(jìn)行原子化，經(jīng)氬氫火焰離解成待測(cè)元素的原子，然后受到激發(fā)光源得特征光譜照射后，受到激發(fā)到高能態(tài)后去激發(fā)再回到基態(tài)時(shí)發(fā)射出原子熒光。
這些不同波長的原子熒光的光信號(hào)，經(jīng)過光電倍增管把光信號(hào)轉(zhuǎn)變成電信號(hào)，經(jīng)檢測(cè)系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理，最終檢測(cè)出待測(cè)樣品中待測(cè)元素的含量。
4.光學(xué)系統(tǒng)
光學(xué)系統(tǒng)的作用是充分利用激發(fā)光源的能量和接收有用的熒光信號(hào)，減少和除去雜散光。色散系統(tǒng)對(duì)分辨能力要求不高，但要求有較大的集光本領(lǐng)，常用的色散元件是光柵。非色散型儀器的濾光器用來分離分析線和鄰近譜線，降低背景。非色散型儀器的優(yōu)點(diǎn)是照明立體角大，光譜通帶寬，集光本領(lǐng)大，熒光信號(hào)強(qiáng)度大，儀器結(jié)構(gòu)簡單，操作方便。缺點(diǎn)是散射光的影響大。
5.檢測(cè)器
常用的是光電倍增管，在多元素原子熒光分析儀中，也用光導(dǎo)攝象管、析象管做檢測(cè)器。檢測(cè)器與激發(fā)光束成直角配置，以避免激發(fā)光源對(duì)檢測(cè)原子熒光信號(hào)的影響。
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