觸針?lè)ǎ豪冕樇馇拾霃綖?2微米左右的金剛石觸針沿被測(cè)表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學(xué)式長(zhǎng)度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，經(jīng)放大、濾波、計(jì)算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值，也可用記錄器記錄被測(cè)截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測(cè)量工具稱(chēng)為表面粗糙度測(cè)量?jī)x。同時(shí)能記錄表面輪廓曲線的稱(chēng)為表面粗糙度輪廓儀，這兩種測(cè)量工具都有電子計(jì)算電路或電子計(jì)算機(jī)，它能自動(dòng)計(jì)算出輪廓算術(shù)平均偏差Rα，微觀不平度十點(diǎn)高度RZ，輪廓高度Ry和其他多種評(píng)定參數(shù)，測(cè)量效率高，適用于測(cè)量Rα為0.025～6.3微米的表面粗糙度。

光切法：光線通過(guò)狹縫后形成的光帶投射到被測(cè)表面上，以它與被測(cè)表面的交線所形成的輪廓曲線來(lái)測(cè)量表面粗糙度。由光源射出的光經(jīng)聚光鏡、狹縫、物鏡1后，以45°的傾斜角將狹縫投影到被測(cè)表面，形成被測(cè)表面的截面輪廓圖形，然后通過(guò)物鏡 2將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測(cè)微目鏡和讀數(shù)鼓輪，先讀出h值，計(jì)算后得到H 值。應(yīng)用此法的表面粗糙度測(cè)量工具稱(chēng)為光切顯微鏡。它適用于測(cè)量RZ和Ry為0.8～100微米的表面粗糙度，需要人工取點(diǎn)，測(cè)量效率低。

干涉法：利用光波干涉原理將被測(cè)表面的形狀誤差以干涉條紋圖形顯示出來(lái)，并利用放大倍數(shù)高的顯微鏡將這些干涉條紋的微觀部分放大后進(jìn)行測(cè)量，以得出被測(cè)表面粗糙度。應(yīng)用此法的表面粗糙度測(cè)量工具稱(chēng)為干涉顯微鏡。這種方法適用于測(cè)量Rz和Ry為 0.025～0.8微米的表面粗糙度。