純度的水質(zhì)，集成電路工業(yè)當(dāng)中用于半導(dǎo)體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等方面。此外，其他固態(tài)電子原器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等材料的制作也都要使用超純水。超純水主要是指下列雜質(zhì)含量極低的水：1、無(wú)機(jī)電離雜質(zhì),如 Ca、Mg、Na、K、Fe、Fe等；2、顆粒,如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等；3、微生物,如細(xì)菌、浮游生物和藻類等;4、有機(jī)物,如烷基苯磺酸、油、有機(jī)鐵、有機(jī)鋁以及其他碳?xì)浠衔锏龋?、溶解氣體, 如N2、O2、CO2、H2S等元素。超純水中電離雜質(zhì)的含量用水的電阻率數(shù)值來(lái)確定與衡量。在理論上來(lái)說(shuō)，純水中只包含有H離子和OH離子元素參加導(dǎo)電。在25℃時(shí)超純水的電阻率為 18.3(兆歐·厘米)，一般約為15～18（兆歐·厘米）?！〕兯杏袡C(jī)物含量由測(cè)定有機(jī)物碳含量而定，電子工業(yè)超純水中規(guī)定含量為50～200微克／升,并要求直徑大于1微米的顆粒性物質(zhì)每1毫升內(nèi)含量為1～2個(gè)，微生物每1毫升為0～10個(gè)。現(xiàn)在一般采用預(yù)處理、電滲析、紫外線殺菌、反滲透、離子交換、超濾和各種膜過(guò)濾技術(shù)等工藝，使其超純水的電阻率在25℃時(shí)達(dá)到18(兆歐·厘米)。