勻膠機是在高速旋轉(zhuǎn)的基材上，滴下各種膠液，利用離心力將滴在基材上的膠液均勻涂在基材上的設(shè)備，涂膜的厚度取決于勻膠機的速度和溶膠的粘度。勻膠機有一個或多個滴膠系統(tǒng)，可涂不同種類的光刻膠。滴膠方式有晶圓靜滴膠或旋轉(zhuǎn)滴膠兩種。隨著芯片尺寸的增大，出現(xiàn)多滴膠或移動滴膠口。

　　在選擇勻膠機的時候要注意哪些方面，勻膠機是在基材高速旋轉(zhuǎn)時，滴下各種膠液，利用離心力將滴在基材上的膠液均勻涂在基材上的設(shè)備，膜的厚度取決于勻膠機的速度和溶膠的粘度。那么，大家知道怎么買勻膠機嗎?

　　從其原理可以看出，購買勻膠機需要注意幾個細節(jié)，旋轉(zhuǎn)速度轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋轉(zhuǎn)涂層的厚度控制和成膜均勻性。如果電機的標記速度和實際速度相差很大，對于需要精密鍍膜的研究人員來說，是不可能獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國內(nèi)一些均質(zhì)機只能提供轉(zhuǎn)速范圍，不能標定實時轉(zhuǎn)速。雖然大部分打膠機都能標定速度，但大部分的速度精度都不是標準確定的。建議購買速度控制有標識的標準。

　　真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)建真空泵要無油，壓力標定精確，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，就會導致基材吸附不能夠產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓膠滴不小心進入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。用過國產(chǎn)勻膠機的客戶經(jīng)常關(guān)心如何清潔的問題，這方面國外很多勻膠機做得很好，他們都有聯(lián)動機構(gòu)，如果真空吸附力不夠，就不會啟動旋轉(zhuǎn)。

　　材料選擇對于半導體化工的應(yīng)用來說，材料的選擇尤為關(guān)鍵，大部分的勻膠機都是采用不銹鋼或普通塑料材料制成的，因為這種材料的成本很低，不銹鋼對于各種化工膠液都不是很好，塑料對于較高的溫度和壓力容易產(chǎn)生變形。如果這種變形導致托盤的位置失去水平，就會導致旋轉(zhuǎn)時出現(xiàn)高低不平的狀態(tài)。自然不能得到很好的旋涂效果。例如，模型是由聚丙烯(NPP)或聚四氟乙烯制成的。

　　以上就是關(guān)于購買勻膠機的情況。通過上面的內(nèi)容我們可以知道，購買勻膠機要注意三個方面:一是轉(zhuǎn)速，二是真空吸附系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)，三是材料。希望對大家有所幫助。