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勻膠機主要關(guān)鍵部件從美國進口,整機組裝在國內(nèi)安裝調(diào)試。本機于2002年通過CE認證,抗干擾和干擾性能優(yōu)于其他非CE產(chǎn)品。具體的性能表現(xiàn)為:勻膠機在運行時,不影響同室的其他設(shè)備,保證其他設(shè)備的正常使用(如指針不漂移等干擾反應(yīng)后的影響);同時不會受到同一房間內(nèi)其他設(shè)備運行時產(chǎn)生的磁場的干擾,從而保證實驗效果的穩(wěn)定可靠。
勻膠機的工作原理是基材高速旋轉(zhuǎn),利用離心力將滴在基材上的膠液均勻涂覆在基材上,勻膠機常用于各種溶膠-凝膠實驗中的成膜,厚度取決于膠液的不同和基材的粘度系數(shù)的不同,與旋轉(zhuǎn)速度和時間有關(guān)。多達20段可設(shè)置存儲不同材料的制備過程,每段可設(shè)置51步變速,電流參數(shù)具有斷電保護功能。
勻膠機的轉(zhuǎn)速:轉(zhuǎn)速的速度和控制精度直接關(guān)系到旋轉(zhuǎn)涂膜的厚度控制和涂膜均勻性。如果電機的標(biāo)記速度和實際速度與勻膠機圖集相差甚遠,對于需要精密涂布的研究人員來說,是不可能獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國內(nèi)大部分低端均質(zhì)機只能提供轉(zhuǎn)速范圍,無法實時校準轉(zhuǎn)速。
真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)建真空泵必須無油,壓力校準準確,國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何油都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,就會導(dǎo)致基材吸附不能夠產(chǎn)生“飛片”的情況,還會讓膠滴不小心進入真空管道系統(tǒng)造成堵塞。用過勻膠機的客戶經(jīng)常關(guān)心如何清潔的問題,這方面國外很多打膠機做得很好,他們都有聯(lián)動機構(gòu),如果真空吸附不夠,就不會啟動旋轉(zhuǎn)。
材料選擇對于半導(dǎo)體化工工業(yè)的應(yīng)用來說,材料的選擇尤為關(guān)鍵。國內(nèi)的均質(zhì)機大多采用鐵板噴漆或普通塑料材料,因為這種材料的成本很低。如果這種變形導(dǎo)致托盤的位置失去水平,就會導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)時出現(xiàn)高低不平的狀態(tài)。自然不能得到很好的旋涂效果。目前國外一些品牌采用天然聚丙烯或聚四氟乙烯材料。這兩種材料具有綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度高、耐沖擊好、經(jīng)久耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。