旋涂機(jī)"是一種使用旋轉(zhuǎn)離心力的涂布設(shè)備，也被稱為"旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)".關(guān)于平滑的被涂物（工件），能夠形成薄且均勻的涂層。旋涂機(jī)的用途非常廣泛，代表性用途包含半導(dǎo)體晶圓的外表處理、光阻涂布等流程類工序，以及光學(xué)媒介涂膜、鏡頭底劑及調(diào)光液的涂布等。


　　將涂液滴落在被涂物（工件）的中心，進(jìn)行高速旋轉(zhuǎn)。加快旋轉(zhuǎn)會(huì)對(duì)涂液施加離心力，使涂液擴(kuò)散到整個(gè)外表并成膜。涂布膜厚取決于涂液的粘度、被涂物的轉(zhuǎn)速、旋轉(zhuǎn)啟動(dòng)加快度、與枯燥速度相關(guān)的排氣。


　　旋涂的原理是依托旋轉(zhuǎn)離心力將多余的涂液甩離被涂物，因而實(shí)際成膜的液量要少于滴落的液量，存在會(huì)導(dǎo)致資料損耗的缺點(diǎn)。為了經(jīng)過排氣控制枯燥速度，避免涂液飛濺到設(shè)備外部，避免異物混入。


　　旋轉(zhuǎn)體及滴落的組織一般都會(huì)被收納在箱體中，或采用涂裱時(shí)關(guān)閉上蓋的設(shè)計(jì)款式。設(shè)備的基本原理在近幾十年并未改變，但適用于被涂物不同尺寸、分量、材質(zhì)的設(shè)備，轉(zhuǎn)速（速度）控制、主動(dòng)滴落之類的規(guī)格功能等，都實(shí)現(xiàn)了愈加多樣化的發(fā)展。