真空泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達(dá)到傳輸氣體目的，按其工作的原理可以分為兩種類型：變?nèi)菡婵毡?、?dòng)量傳輸泵。

一、變?nèi)蓊愓婵毡茫?/h2>
利用泵腔容積的周期性變化來(lái)完成吸氣和排氣過(guò)程的一種真空泵。以其內(nèi)部隔膜、活塞、轉(zhuǎn)子的運(yùn)動(dòng)矢量又可以分為2種類型：

1、往復(fù)真空泵：

是利用泵腔內(nèi)活塞、隔膜做單一往復(fù)運(yùn)動(dòng)。氣嘴處有單向閥，在偏心圓電機(jī)的圓周運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)下，泵內(nèi)部的隔膜伸縮運(yùn)動(dòng)，將氣體吸入、壓縮并排出，因此稱為活塞泵或者隔膜泵，我司生產(chǎn)的氣泵均為此原理工作。此系列泵的特點(diǎn)是：多為無(wú)油泵，不污染介質(zhì)，體積微型化，采用小型直流電機(jī)居多。

因?yàn)橥鶑?fù)式隔膜泵和活塞泵的上述特點(diǎn)，這一系列真空泵被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療儀器、分析儀器、監(jiān)測(cè)儀器等領(lǐng)域，用于傳輸不能被污染的介質(zhì)。

2.旋轉(zhuǎn)類真空泵：

是利用泵腔內(nèi)轉(zhuǎn)子做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，通過(guò)變?nèi)莸确绞綄?shí)現(xiàn)吸入氣體并排出的過(guò)程。旋轉(zhuǎn)式真空泵種類繁多，工業(yè)中較常用有如下系列： 旋片式真空泵：兩個(gè)（或以上）旋片在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)并與定子內(nèi)壁相接觸，將泵腔分為幾個(gè)可變?nèi)莘e的一種旋轉(zhuǎn)變?nèi)莘e真空泵，通常旋片與泵腔之間的間隙用油來(lái)作為密封。旋片泵極限真空度，可以作為其它高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵，但它不適于抽取氧化性的，對(duì)金屬有腐蝕性的、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體。



液環(huán)式真空泵：帶有多葉片的轉(zhuǎn)子偏心裝在泵殼內(nèi)。當(dāng)它旋轉(zhuǎn)時(shí)，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環(huán)，液環(huán)同轉(zhuǎn)子葉片形成了容積周期變化的旋轉(zhuǎn)變?nèi)菡婵毡茫?dāng)工作液體為水時(shí)，又稱為水環(huán)式真空泵。

                                 
                                                             水環(huán)真空泵原理



羅茨真空泵：以羅茨風(fēng)機(jī)演變而來(lái)，抽速大，轉(zhuǎn)子無(wú)需潤(rùn)滑，允許被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣，但羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低（泵的排氣壓力與進(jìn)氣壓力之比稱為壓縮比),所以氣體在泵腔內(nèi)沒有被壓縮，吸入口產(chǎn)生的負(fù)壓很小，排氣口產(chǎn)生正壓也較低。
                                            
                                                        羅茨真空泵原理                                           



螺桿真空泵：利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的泵 爪式真空泵。工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層，可適應(yīng)惡劣工況，不耗油，氣體在泵內(nèi)無(wú)壓縮，適宜抽取可凝性氣體，但成本高，依賴進(jìn)口，不適合抽取強(qiáng)氧化、易燃易爆氣體。
                                       
                                                               螺桿真空泵原理


此系列的泵密封方式多采用油封、密封圈密封、機(jī)封等，屬于大型泵類，部分介質(zhì)會(huì)與泵油起化學(xué)反映，因此需根據(jù)使用場(chǎng)景選擇類型適合的泵。

二、動(dòng)量傳輸泵

這種泵原理是依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹凇?渦輪分子泵:利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子，使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。此類型泵耐氣壓沖擊，無(wú)氣體存儲(chǔ)和解吸效應(yīng)，不污染氣體，真空度，多用于控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器和高級(jí)電子器件制造等方面。

                     







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