隔膜泵屬于容積式泵，通過隔膜往復(fù)運動改變泵腔容積實現(xiàn)介質(zhì)傳輸，因此流量會因為機械結(jié)構(gòu)運轉(zhuǎn)呈現(xiàn)一定的脈動性。
流量的脈動性可以用玻璃轉(zhuǎn)子流量計浮子的抖動情況來粗略、直觀的查看。根據(jù)真空泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)腔室數(shù)量不同，雙腔室的比單腔室的流量脈動性要小，而三腔室的比雙腔室的流量脈動性更小。

成都海霖科技有限公司生產(chǎn)的微型泵產(chǎn)品型號規(guī)格有很多。從內(nèi)部泵腔結(jié)構(gòu)上可以分為：單腔泵、雙腔泵、三腔泵幾種類型。微型泵的內(nèi)部泵腔個數(shù)不同輸出的流量脈動性也不同。通過高頻響應(yīng)的流量傳感器，我們可以從微觀上看到氣流波形，非常直觀的展現(xiàn)了氣流的脈動性。

平均流量

平均流量一般是采用皂膜流量計測量的泵在一段時間內(nèi)傳送的氣體體積。

峰值流量

指真空泵在一定的壓強和溫度下，所抽吸的氣體在某一時刻流量的值（單位：L/min）。峰值流量一般可以采用普通玻璃轉(zhuǎn)子流量計粗略測量。

單腔泵

主要產(chǎn)品系列：C13、C15、C09、C26、C30、D50、D15、D23、D35、D50、S23、FML、FNY、FKY、FCY、FAT、VLC、VLK、VML、VAY（采用雙腔串聯(lián)，效果類似于單腔）、VBY、VAK、VCY、VKY、VAT、WNY、WKY、WPY、WAT。

雙腔泵

主要產(chǎn)品：D60、S36和FQY、VQY、WJY系列。
 

三腔泵

主要產(chǎn)品：C09、VUY、VJY、VAJ、WQY、WUY、WAJ系列。

特別說明

1、以上示意圖僅供參考，也反應(yīng)了泵的流量脈動性。

2、泵在不同的管路系統(tǒng)中的流量輸出特性會有所變化，以上示意圖僅是泵在空載時的輸出特性，不作為驗收依據(jù)。

總結(jié)：泵的工作腔室越多輸出流量越平穩(wěn)，但同時導(dǎo)致結(jié)構(gòu)更加復(fù)雜、成本更高。