高純水設(shè)備脫氣膜的作用與原理：高純水設(shè)備脫氣膜主要是用來脫除水中二氧化碳和氧氣的，脫氣膜的運(yùn)行原理是脫氣膜內(nèi)裝有大量的中空纖維，纖維的壁上有微小的孔，水分子不能通過這種小孔，而氣體分子卻能夠穿過。工作時，水流在一定的壓力下從中空纖維的里面通過，而中空纖維的外面在真空泵的作用下將氣體不斷的抽走，并形成一定的負(fù)壓，這樣水中的氣體就不斷從水中經(jīng)中空纖維向外溢出，從而達(dá)到去除水中氣體的目的，脫氣膜中裝有大量的中空纖維可以擴(kuò)大氣液界面的面積，從而使脫氣速度加快。膜脫氣裝置的脫氣效率可高達(dá)99.99%，出水二氧化碳和氧氣濃度可小于2ppb。

超純水生產(chǎn)工藝中，脫氣膜一般放在二級RO與EDI之間，采用反滲透RO和電脫鹽（EDI）或連續(xù)電脫鹽(CDI) 的系統(tǒng)時，水中溶解的CO₂是造成水中高電導(dǎo)率的主要原因。利用脫氣膜技術(shù)，無需添加任何化學(xué)藥劑，不引入任何污染物便能從水中去除大量的CO₂, 去除率可達(dá)98%以上。如果在EDI前去除CO₂，那么就會可以讓電脫鹽（EDI）產(chǎn)出更高水質(zhì)的產(chǎn)水。

脫氣膜工藝：脫氣膜技術(shù)是一種新型的氣/液膜分離工藝過程，通過抽真空、抽真空+N²等方法可使水中的O₂脫除率大于90%，通過吹氣、抽氣+吹氣等的方法可使水中的CO₂脫除率大于85%，用戶還可通過脫氣膜串聯(lián)等方法進(jìn)一步提高脫氣效果。