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熱式氣體質(zhì)量流量控制器

2025年07月12日 08:40:23      來源：北京亞歐德鵬科技有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量：5

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熱式氣體質(zhì)量流量控制器    型號；DP-S48 32/HMT

編號
項目
DP-S48 32/HMT
1
流量規(guī)格
（10,20,30,50,100,200,300,500）mL/min;
（1,2,3,5,10,20,30）L/min
2
調(diào)節(jié)閥類型
電磁調(diào)節(jié)閥
3
調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài)
常閉
4
安裝方向
意
5
流量控制范圍
2%-
6
流量測量范圍
（0-100）%
7
零點溫漂
0.6%F.S.（15~35℃）
8
響應時間 
2s（T98,設定值的±2%F.S.）
9
作環(huán)境溫度
5~50℃
10
度保證溫度
15~35℃
11
度
±1.0%F.S
12
線性
±0.5%F.S
13
重復度
±0.2%F.S
14
作壓差范圍
~5L/min:（0.05-0.3）MPa
10L/min~30L/min:（0.1-0.3）MPa
15
耐壓
3MPa
16
漏率
1×10-8Pa.m3/s（He）
17
管路接頭
1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm
18
供電電源
±15VDC（±5%） ＋15V,100mA;－15V, 200mA
19
設定信號
（0-5）VDC 
輸入阻抗>1MΩ
20
流量輸出信號
（0-5）VDC
負載輸出電流能力≤3mA
21
電氣接頭
D-SUB15
22
尺寸 （mm）
113（寬）×121（）×32（厚）

北京亞歐德鵬科有限公司
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：曹
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