高純氣體管道系統(tǒng)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，其配管及材質(zhì)的選擇直接關(guān)系到氣體的純度和質(zhì)量。以下是環(huán)揚未來對高純氣體管道系統(tǒng)配管及材質(zhì)要求的詳細歸納：

一、配管要求

1. 規(guī)劃獨立的供應區(qū)域：

   • 對于不同特性的氣體，如腐蝕性/毒性氣體、可燃性氣體、惰性氣體等，應規(guī)劃獨立的供應區(qū)域，以便集中加強管理和控制。

2. 管路設(shè)計：

   • 需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風險也越高。合理的設(shè)計流速通常為20ml/s，可燃性氣體應小于10ml/s，毒性/腐蝕性氣體應小于8ml/s。
   • 管網(wǎng)設(shè)計不宜過大或過長，宜采用不封閉的環(huán)形管路，并在系統(tǒng)末端連續(xù)不斷排放少量的氣體，以防止“死空間”引起高純氣體的污染。

3. 減少“死空間”：

   • 管路中應減少不流動氣體的“死空間”，避免設(shè)有盲管。
   • 在特種氣體的儲氣瓶與用氣設(shè)備之間應設(shè)吹掃控制裝置、多閥門控制裝置，用以控制各個閥門的開關(guān)順序、系統(tǒng)吹除，確保供氣系統(tǒng)的安全可靠運行。

4. 分等級輸送系統(tǒng)：

   • 對高純氣體純度要求不同的用氣設(shè)備，宜采用分等級高純氣體輸送系統(tǒng)。也可采用同等級輸送系統(tǒng)，但在純度要求高的用氣設(shè)備鄰近處設(shè)末端氣體提純裝置。

二、材質(zhì)要求

1. 基本特性：

   • 為保證高純氣體在運輸中的純度，減少污染，應選用滲透性小、出氣速率低、吸附性差的材料。

2. 具體材質(zhì)選擇：

   • 純度要求99.99%以內(nèi)：可采用10#或20#無縫鋼管（內(nèi)表面鍍鋅或純化處理），或銅管（但需注意銅材對水吸附性，一般僅用于ppm級以下的氧氣輸送）。
   • 總雜質(zhì)含量≤10-100ppm：可選用304不銹鋼光亮退火管（304BA）或304不銹鋼管純化處理（304AP）。
   • 總雜質(zhì)含量≤1-10ppm：可選用316L不銹鋼光亮退火管（316LBA）或304不銹鋼電拋光管（304EP）。
   • 總雜質(zhì)含量≤1ppm：必須采用316L不銹鋼電拋光管（316LEP），這種材料具有的潔凈度和極低的滲透性，是輸送高純氣體的理想選擇。

3. 連接材料：

   • 鍍鋅管道可采用螺紋連接，不銹鋼管道則常采用焊接連接，包括對接焊、承插焊或套管焊接等。焊接時應采用高純氬氣保護焊，并在專用的潔凈室內(nèi)進行，以確保焊接質(zhì)量。

4. 閥門選擇：

   • 氣體管道中常用的閥門有球閥、隔膜閥和波紋管閥。應根據(jù)氣體純度、有毒性和可燃爆炸性要求選擇相適應的閥門。例如，純度在99.9999%以內(nèi)的氣體管道可選用304不銹鋼球閥；總雜質(zhì)含量≤10ppm的氣體管道可選用隔膜閥和波紋管閥；可燃爆炸性的氣體應選用波紋管閥。

三、其他注意事項

1. 材料檢驗：所有管道材料在使用前必須經(jīng)過嚴格的檢驗和測試，以確保其符合相關(guān)標準和設(shè)計要求。
2. 清潔度控制：在管道安裝過程中，應嚴格控制清潔度，防止雜質(zhì)進入管道系統(tǒng)。對于高純氣體管道，還應采用特殊的清潔方法和設(shè)備進行清潔處理。
3. 標識與記錄：管道系統(tǒng)應設(shè)置清晰的標識和記錄系統(tǒng)，以便于維護和管理。