高純氮

氣純化方法主要有吸附法、變壓吸附法、膜分離法等。在生產(chǎn)中，通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。

基本信息

中文名稱：高純氮

外文名稱：High purity nitrogen

化學(xué)式： N2

純度：≥99.999% —99.9999%

物理性質(zhì)

high purity nitrogen

分子式：N2

性質(zhì)：純度大于99.999%。無色無臭無味無毒的惰性氣體。

相對密度：ds(21.1℃，空氣=1)0.967

氣體密度：1.153kg/m3(21.1℃，101.3kPa

液體密度：808.5kg/m3(-195.8℃,101.3kPa)。

相對分子質(zhì)量：28.013

熔點：63.15K,-210℃,-346oF

沸點：195.60℃

臨界溫度：126.1K,-147.05℃,-232.69oF

臨界壓力：3.4MPa,33.94bar,33.5atm,492.26psia

臨界體積：90.1cm3/mol

臨界密度：0.3109g/cm3

用途

在集成電路、半導(dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫擴(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術(shù)中，液氫加注系統(tǒng)必須先用高純氮置換，再用高純氦置換。

消防應(yīng)急措施與防護(hù)

迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至上風(fēng)處，并進(jìn)行隔離，嚴(yán)格限制出入。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器。不要直接接觸泄漏物。盡可能切斷泄漏源。防止氣體在低凹處積聚，遇點火源著火爆炸。用排風(fēng)機(jī)將漏出氣送至空曠處。漏氣容器要妥善處理，修復(fù)、檢驗后再用。用霧狀水保持火場中容器冷卻。可用霧狀水噴淋加速液氮蒸發(fā)，但不可使用水槍射至液氮。如吸入高純氮，感到呼吸困難，給輸氧。如呼吸停止，立即進(jìn)行人工呼吸。就醫(yī)。

安全信息

· 危險類別：2.2

· 海關(guān)編碼：2804300000

· 危險品運(yùn)輸編碼：UN10662.2

· WGKGermany：-

· 安全說明：S38

· RTECS號：QW9700000