產(chǎn)品名稱：全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產(chǎn)品概述

儀器采用了*電子技術(shù)進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。

二、儀器構(gòu)成：

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀：

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2電流誤差：±0.5%

三坐標測試移動品臺：

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

四探針測試電極：

上位機軟件測量成像系統(tǒng)

2、 測量點數(shù)：可以設定

4、 2D成像：測試完成后，可以立體成像

負荷施加在兩聯(lián)接端間，若在少于90s時間內(nèi)達到*額定機械負荷SML,則此負荷（*的SML）應維持90s的剩余時間（此試驗可以認為等效于在額定機械負荷SMLT的1min耐受試驗）。為了從試驗中獲得更多的資料，除了一些特殊的原因（如試驗機的大拉伸負荷）外，可以將負荷升高到絕緣子的破壞負荷。

并記錄此值。——若在70%額定機械負荷1min耐受試驗（a）期間和在*額定機械負荷1min耐受試驗（b）期間均無破壞（芯棒斷裂或*拉脫、金屬附件破裂）發(fā)生。——7.4a所述染色滲透方法后確認無裂紋。——對7,4a所述的兩部分進行檢査后，清楚表明裂紋沒有達到芯棒。試驗應按GB1001.1進行。試驗按5.1.4.2進行。如果僅有一只絕緣子或金屬件不能滿足抽樣試驗，則應抽取原先提交試驗數(shù)量兩倍的新樣品進行重復試驗。重復試驗應包括未通過的該項試驗。如果有兩只或更多只絕緣子或金屬附件不能滿足抽樣試驗中的任何一項，或如果在重復試驗中有任何一項試驗不通過。則認為該批絕緣子不能滿足本標準要求，并由制造廠收回。

若能清楚地知道試驗未通過的原因，則制造廠可以從該批中剔除所有有缺陷的絕緣子。然后將挑選后的批再提交試驗。抽取等于*次抽取數(shù)量三倍的試品進行重復試驗。如果在重復試驗中有任何絕緣子不通過，則認為該批絕緣子不能滿足本標準，由制造廠收回

碳化硅晶圓電阻率測定儀

碳化硅晶圓電阻率測定儀