產(chǎn)品名稱：全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產(chǎn)品概述

儀器采用了*電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

二、儀器構(gòu)成：

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀：

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴(kuò)展)

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2電流誤差：±0.5%

三坐標(biāo)測試移動品臺：

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

四探針測試電極：

上位機(jī)軟件測量成像系統(tǒng)

2、 測量點(diǎn)數(shù)：可以設(shè)定

4、 2D成像：測試完成后，可以立體成像

此拉伸負(fù)荷應(yīng)迅速而平穩(wěn)從零上升到大約為額定機(jī)械負(fù)荷SML的75%,然后在30s?90s的時(shí)間內(nèi)逐漸上升到額定機(jī)械負(fù)荷SML。為從試驗(yàn)中獲得更多的資料，除非有特殊原因（如試驗(yàn)機(jī)的大拉伸負(fù)荷），負(fù)荷應(yīng)當(dāng)一直上升到破壞負(fù)荷，如果符合下列規(guī)定，——在額定機(jī)械負(fù)荷的70%下96h試驗(yàn)（6.4.2a））和*額定機(jī)械負(fù)荷下1min耐受試驗(yàn)（6.4.2c））均無破壞發(fā)生（芯棒斷裂或拉脫，或金屬附件破裂）；——用6.4.2b）中所述的染色滲透法沒有出現(xiàn)裂紋；——研究6.4.2b）中所述切成兩半的情況能清楚表明開裂沒有達(dá)到芯棒。用戶和制造廠協(xié)商進(jìn)行此試驗(yàn)，協(xié)商可接受的大無線電干擾水平。此試驗(yàn)應(yīng)根據(jù)JB/T3567進(jìn)行。

必要時(shí)，絕緣子應(yīng)在屏蔽電場的環(huán)境中測試。抽樣試驗(yàn)使用兩種樣本，Ei和秩，此兩種樣本的大小見下表。若被檢驗(yàn)絕緣子多于10000只，則應(yīng)將它們分成幾批，每批的數(shù)量在2000?10000只。試驗(yàn)結(jié)果應(yīng)分別對每批作出評定。絕緣子應(yīng)從該批中隨機(jī)地抽取，買方有權(quán)抽取。對抽取樣本進(jìn)行相應(yīng)的抽樣試驗(yàn)。—尺寸檢査（Ei+E0）；——驗(yàn)證金屬附件和傘套間界面的滲透性（互）和驗(yàn)證額定機(jī)械負(fù)荷的試驗(yàn)（E。——鍍鋅層試驗(yàn)（?。?；——陡波前沖擊耐受電壓試驗(yàn)（EQ。

碳化硅晶圓電阻率測量儀

碳化硅晶圓電阻率測量儀