產(chǎn)品名稱：全自動晶圓成像電阻率測試儀

一、產(chǎn)品概述

儀器采用了*電子技術進行設計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結構緊湊、易操作等特點。

二、儀器構成：

1、 高精度電阻率測試儀

3、 測試探頭

高精度電阻率測量儀：

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴展)

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2電流誤差：±0.5%

三坐標測試移動品臺：

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

四探針測試電極：

上位機軟件測量成像系統(tǒng)

2、 測量點數(shù)：可以設定

4、 2D成像：測試完成后，可以立體成像

直到按下面的次序開始驗證試驗。下面的各個試驗（5.1..1.4.2和5.1.4.3）的間隔時間應使得此驗證試驗在48h內(nèi)完成。對每只試品的傘套進行外觀檢査，不允許有開裂。在試品上布置電極（該電極由夾片構成，例如可由大約20mm寬，厚度不超過1mm的窄銅條作成）。此電極應牢固地緊繞在傘裙間的傘套上，形成約等于或小于500mm的區(qū)段。若絕緣子的絕緣長度小于或等于500mm,就將電壓直接加到原有的金屬附件上。將陡度不小于1000kv/jxs,且不大于1500kV/咨的沖擊電壓施加到兩個相鄰的電極間或?qū)㈦妷菏┘拥浇饘俑郊c相鄰的電極上，每個區(qū)段應分別承受25次正極性沖擊和25次負極性沖擊。每次的沖擊應引起電極間的外部閃絡。

而不應產(chǎn)生擊穿，然后撤去構成區(qū)段所用的電極。按照5.1.2所給出的程序?qū)γ恳恢辉嚻吩俅螠y定干工頻閃絡電壓。每一只試品的閃絡電壓平均值不得低于按5.1.2測得值的90%。5.1.2測得它的平均閃絡電壓的80%的電壓，持續(xù)30min。試驗不應產(chǎn)生擊穿，用在生產(chǎn)線上制成的6只絕緣子進行試驗,絕緣子的長度（金屬附件至金屬附件的絕緣距離）應不小于800mm,兩端金屬附件應與生產(chǎn)線上的絕緣子所采用的相同。芯棒的端部連接區(qū)應相同，但芯棒端部以外的部分可作適當修改，以避免聯(lián)接的破壞

晶圓非接觸法電阻率測量儀

晶圓非接觸法電阻率測量儀