產(chǎn)品名稱：全自動(dòng)晶圓成像電阻率測(cè)試儀

一、產(chǎn)品概述

儀器采用了*電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。

二、儀器構(gòu)成：

1、 高精度電阻率測(cè)試儀

3、 測(cè)試探頭

高精度電阻率測(cè)量?jī)x：

1.1電阻率：0.00001～20000Ω.cm (可擴(kuò)展)

1.3電阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2電流誤差：±0.5%

三坐標(biāo)測(cè)試移動(dòng)品臺(tái)：

2、X軸Y軸*小位移量：0.125MM

四探針測(cè)試電極：

上位機(jī)軟件測(cè)量成像系統(tǒng)

2、 測(cè)量點(diǎn)數(shù)：可以設(shè)定

4、 2D成像：測(cè)試完成后，可以立體成像

將未修整面按GB/T6553要求打磨處理。安裝時(shí)，應(yīng)將長(zhǎng)度方向中裁取膠片較靠近底邊的一端聯(lián)接在高壓電極，且此電極應(yīng)在未修整面上，上下電極間至少65%的面積應(yīng)為待試樣。

試驗(yàn)方法和結(jié)果判定依據(jù)GB/T6553,試驗(yàn)采用恒壓法A,耐受電壓4.5kV,蝕損深度不應(yīng)大于2.5mm。試驗(yàn)結(jié)果僅當(dāng)蝕損區(qū)域在裁取的傘裙膠料內(nèi)有效（蝕損深度大于2.5mm的部分可以是制樣用膠料），否則應(yīng)重新補(bǔ)做該號(hào)試品。注：如果絕緣子的傘套裁取不到以上規(guī)格的膠片時(shí),應(yīng)采用正常生產(chǎn)使用的膠料，按正常生產(chǎn)的硫化條件制成符合GB/T6553規(guī)定的試樣。一種絕緣子型式在電氣上是由電弧距離、爬電距離、傘傾角、傘徑和傘間距所確定的。一種型式符合上述準(zhǔn)則的絕緣子，其電氣型式試驗(yàn)只需進(jìn)行一次。如果引弧裝置是該型式絕緣子的一完整部分，則電氣型式試驗(yàn)應(yīng)帶上引弧裝置進(jìn)行。僅當(dāng)上述特性中有一項(xiàng)或幾項(xiàng)改變時(shí)電氣型式試驗(yàn)才需重新進(jìn)行。

一種絕緣子型式在機(jī)械上是由芯棒直徑和材料、傘套的材料和工藝、金屬附件的連接方法來(lái)確定。僅當(dāng)上述特性中有一項(xiàng)或兩項(xiàng)都改變時(shí)機(jī)械型式試驗(yàn)才需重新進(jìn)行。除非另有規(guī)定，按IEC60383.1993中和12進(jìn)行。按IEC60383.1993中和12進(jìn)行

非接觸法晶圓電阻率成像測(cè)定儀

非接觸法晶圓電阻率成像測(cè)定儀